不同粒径CuBr对高灵敏快响应室温NH3气体传感器的影响

作者：刘继江; 刘志远; 刘玺; 王洋洋; 咸婉婷; 杨思远

来源：传感器世界, 2019, 25(10): 7-14.

DOI：10.16204/j.cnki.sw.20191203.001

• 氨气传感器
• 溴化亚铜
• 粒径
• 灵敏度
• 响应/恢复时间

采用真空热沉积法,通过Ar气体保护和调整陶瓷基底与蒸发源的距离,在陶瓷基底上制备出可室温工作的两种不同粒径大小的CuBr NH3传感器。材料表征结果显示,所制备的CuBr是平均粒径约为4μm和2μm纯相材料。对不同粒径CuBr传感器进行0.5ppm～10ppm的NH3测试,结果表明,对于10ppm的NH3,2μm粒径传感器的灵敏度比4μm粒径传感器的灵敏度高出3倍,也比一些以其它方法制备的CuBr传感器、半导体和聚合物传感器具有更高的氨气灵敏度,而且6s/25s的响应/恢复时间也比它们高2～3个数量级。2μm粒径CuBr NH3传感器的高灵敏和快响应归因于敏感材料CuBr的小粒径和多孔性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所