本发明提供了一种IGBT功率模块热网络模型的分区解耦计算方法,属于半导体制造技术领域。所述解耦计算方法包括将考虑热耦合效应的紧凑型热网络模型拆分为独立热网络模型、建立独立的热网络模型的离散化状态方程、计算第k+1个离散周期的独立的热网络模型的结点温度作为紧凑型热网络模型的结点温度值等多个步骤。该发明能够准确计算IGBT功率模块紧凑型热网络的结温,并通过分区解耦的方法提高了结温计算效率,该发明能够嵌入到数字信号处理器中实现高效率的IGBT功率模块结温在线计算。
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