滴定法测定刻蚀酸中氢氟酸、氟硅酸和硝酸含量

作者：唐晓婵; 张晓霞; 王达彤; 张小蒙; 岳涛^*

来源：化学世界, 2022, 63(06): 393-398.

DOI：10.19500/j.cnki.0367-6358.20210317

• 氢氟酸
• 氟硅酸
• 硝酸
• 刻蚀酸

建立了一种测定氢氟酸-氟硅酸-硝酸刻蚀体系中三种酸含量的滴定方法。利用硝酸钾与氟硅酸生成氟硅酸钾沉淀，消除氟硅酸的干扰，用氢氧化钠标准溶液和硝酸镧标准溶液分别测定溶液的总酸度和氢氟酸含量。将氟硅酸在强碱性条件下水解生成氟化物，用硝酸镧标准溶液测定溶液中的总氟，扣除氢氟酸含量得到氟硅酸的含量，以总酸度减去氢氟酸和氟硅酸含量计算硝酸的含量。考察了反应pH值和反应时间对氟硅酸含量测定的影响，测定结果与模拟样品理论值一致，相对标准偏差(RSD)<1.0%,按照该法前处理步骤制备的溶液可稳定24 h,有利于批量操作。

• 单位
  山东省化工研究院; 青岛科技大学