荧光粉胶涂覆方法、装置、系统、涂覆控制设备及存储介质

作者：胡跃明; 陈雅倩

来源：2019-07-23, 中国, ZL201910666526.6.

本发明公开了一种荧光粉胶涂覆方法、装置、系统、涂覆控制设备及存储介质,所述方法包括：按照预先建立的多变量涂层厚度分布模型的默认涂覆控制参数,控制涂覆执行机构对LED晶圆进行荧光粉胶涂覆；控制测厚设备测量涂覆后LED晶圆的荧光粉胶涂层厚度；根据荧光粉胶涂层厚度,确定是否需要修正当前涂覆控制参数；若是,则对当前涂覆控制参数进行修正,按照修正后的涂覆控制参数,控制涂覆执行机构对LED晶圆进行荧光粉胶涂覆,并返回控制测厚设备测量涂覆后LED晶圆的荧光粉胶涂层厚度；若否,则控制涂覆执行机构结束下料。本发明具有较强适应性,可以保证大功率白光LED荧光粉胶涂覆的均匀一致性,提高大功率白光LED的涂覆质量和涂覆效率。

• 单位
  华南理工大学