化学气相沉积制备铜锌合金微米杆

作者：靳英坤; 李焕勇

来源：人工晶体学报, 2014, 43(06): 1376-1380.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2014.06.029

• Cu3Zn
• 合金微米杆
• 化学气相沉积
• 生长机制

采用化学气相沉积的方法,以锌粉、硝酸铜为原料,在硅衬底上制备了铜锌合金微米杆。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对沉积产物的结构、形貌和成分进行了测试与表征。结果表明,生长的铜锌合金微米杆为金属间化合物Cu3Zn合金,为立方相结构,直径在0.15μm之间,长度可达330μm。锌在铜锌合金微米杆的生长中起着至关重要的作用。铜锌合金微米杆的生长属于气固反应诱导下的气液固(VLS)生长机制,与经典的气液固(VLS)生长机制具有明显不同的特点。

• 单位
  凝固技术国家重点实验室; 西北工业大学; 材料学院