岩石样品扫描电镜图像质量影响因素分析

作者：彭涌; 薛华庆; 赵永明; 兰亚男; 潘珑琦; 张楚杰

来源：中国测试, 2020, S2: 156-160.

• 扫描电子显微镜
• 前处理方法
• 成像质量
• 实验表征

扫描电镜(SEM)是实验表征中重要的仪器,前处理对扫描电镜成像影响很大,为阐明前处理方法对扫描电镜图像的影响,系统梳理了SEM岩石样品前处理基本要求,介绍两种岩石样品制备的经验方法,明确乳胶制样镀金后得到的图像质量比导电胶制样镀金后得到的图像质量高的原因。分析探测器、加速电压、工作距离等参数的选取对岩石样品成像质量的影响。结果表明,导电性差的岩石样品适合在低电压下观察(2～5 kV),如需得到高分辨率的图像,需镀金;样品镀金时间为180 s时,样品图像质量高且样品表面特征不易受金颗粒遮挡;岩石样品的最佳工作距离是8 mm左右。研究对岩石样品表面形貌表征有较大意义。

• 单位
  中国石油天然气股份有限公司华北油田分公司; 中国石油天然气股份有限公司勘探开发研究院