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摘要
为获得能在较宽温度范围内工作的BCN薄膜，采用闭合场非平衡磁控溅射法制备出非晶态的BCN薄膜和BCx薄膜，通过调控N2流量研究氮含量对薄膜摩擦学和力学性能的影响。结果表明：BCN薄膜的硬度和弹性模量随着N2流量的增加而降低；在室温至600℃较宽温度范围内，N2流量小于20 sccm时制备的BCN薄膜具有更平稳的摩擦因数和低的磨损率，具有比BCx薄膜更好的摩擦学性能。随着N元素的掺杂，BCN薄膜的力学性能降低，但摩擦学性能明显提高，因此通过改变氮含量实现BCN薄膜力学和摩擦学性能合理调控，BCN薄膜有望实现较宽温度范围内的减摩润滑作用。
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