纳米压印技术的发展及其近期的应用研究

作者：张笛; 张琰; 孔路瑶; 程秀兰^*

来源：传感器与微系统, 2022, 41(05): 1-5.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)05-0001-05

• 热纳米压印
• 紫外纳米压印
• 微接触印刷
• 光学器件
• 存储器
• 柔性器件
• 生物传感器

综述了热纳米压印、紫外纳米压印、微接触印刷三种具有代表性的纳米压印(NIL)技术的原理、工艺流程和优缺点，并介绍了近几年来纳米压印技术的研究进展及其在光学器件、存储器、柔性器件和生物传感器等领域中的应用现状。

• 单位
  上海交通大学