NIKON NSR步进重复光刻机对准原理及典型故障修复

作者：申强; 刘磊; 曹鑫; 李远林

来源：电子工业专用设备, 2022, 51(01): 30-35.

• 对准系统
• 掩模版对准
• 圆片对准
• 故障修复

论述了NIKON NSR步进重复光刻机对准系统工作原理，包括掩模版对准和圆片对准；列出了对准过程中遇到的常见故障，并提出了对应的解决方法，对设备运行过程中出现的对准方面的故障修复有一定的指导作用。

• 单位
  中国电子科技集团公司第五十五研究所