摘要

<正>为了解决多晶硅生产过程中众多不确定因素引起的温度、电流波动等问题,笔者有针对性地研究了多晶硅生产过程有效控制的方法,用于预测与修正自动控制电流,使多晶硅生长过程能稳定地进行晶体生长。多晶