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多晶硅还原炉自动控制电流新方法探讨
作者:周智武; 蒋荣华
来源:
新材料产业
, 2013, (06): 58-60.
电流波动
采样周期
修正系数
多晶硅还原炉
控制电流
多晶硅生长
电流值
方法探讨
摘要
<正>为了解决多晶硅生产过程中众多不确定因素引起的温度、电流波动等问题,笔者有针对性地研究了多晶硅生产过程有效控制的方法,用于预测与修正自动控制电流,使多晶硅生长过程能稳定地进行晶体生长。多晶
单位
江西赛维ldk太阳能高科技有限公司;
江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
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