线切割高粗糙度表面的脉冲激光抛光机制研究

作者：姚建华; 黄锦榜; 王光浩; 闵大勇; 王梁^*

来源：中国激光, 2021, 48(14): 32-41.

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在氩气环境下对线切割316L不锈钢高粗糙度表面进行脉冲激光抛光实验,通过超景深显微镜拍摄激光抛光前后表面形貌并结合表面划线轮廓和粗糙度值,分析不同脉宽和能量作用形式下抛光表面形貌的演变规律和脉冲激光抛光作用机制。研究结果表明:在相同的单脉冲能量下,随着脉宽增加,表面由原始的"高峰深谷"形貌逐渐演变为"低峰浅谷"形貌,粗糙度由Ra=3.79μm降至Ra=0.95μm,下降74.9%。激光脉冲能量作用形式逐渐由"低频高能"向"高频低能"转变时,激光作用光斑痕迹逐渐消失,原始表面的峰谷均逐渐减少,激光抛光机制逐渐由"气化"和"熔凝"共同作用的方式转变为单纯的"熔凝"方式。粗糙度降低的最主要原因是激光对表面小凸峰的平滑作用。

• 单位
  苏州长光华芯光电技术有限公司; 浙江工业大学