摘要

本发明公开了一种采用声波谐振器和碳纳米管的探测器及其制造方法,探测器包括声波谐振器,所述的声波谐振器包括衬底,在所述的声波谐振器远离衬底的一侧设有碳纳米管。制造方法为在声波谐振器远离衬底的一侧生长碳纳米管。其优点在于:所述的探测器响应时间短、灵敏度高,同时具有较高的工作频率,具有在无线通信领域的应用前景。