基于MEMS微镜的混合式扫描同步设计

作者：周珏; 吴东岷^*

来源：电子技术应用, 2021, 47(07): 92-96.

DOI：10.16157/j.issn.0258-7998.211300

• MEMS
• STM32微控制器
• DDS
• 激光扫描
• 相位同步

为了解决MEMS微镜扫描角度较小的缺点,设计了一种MEMS微镜与无刷电机同步扫描系统。该系统由STM32微控制器、 DDS驱动电路、相位检测电路组成。通过设计光栅码盘实现对无刷电机速度的测量,由PID算法控制电机转速使电机反馈信号与MEMS微镜反馈信号频率相同,并检测两路反馈信号的相位差,调节DDS驱动信号的相位实现相位同步。实验表明,系统工作稳定,相位误差不超过1.5%。

• 单位
  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所