超灵敏度检漏技术在高抽速自动排气系统中的应用

作者：田明利; 邱立; 董云宁; 陈俊儒; 陈又琦; 唐榕; 张吉峰

来源：真空, 2022, 59(03): 63-67.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2022.03.13

• 行波管
• 超灵敏检漏
• 气体微流量
• 不确定度

为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题，将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中。设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成。排气系统设计为八工位结构，空载时极限真空度达到超高真空范围，烘箱可进行高温加热，该系统采用程序控制，具有自动采集、存储、分析和传输功能，实现排气工艺全过程自动化。标准气体流量系统可提供5×10-7～5×10-16Pa·m3/s范围的标准气体流量，集成的超灵敏度检漏下限可达5×10-16Pa·m3/s，整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于15%。

• 单位
  北京东方计量测试研究所; 中国电子科技集团公司第十二研究所