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摘要
本发明公开的基于VO-2相变材料的温控频率可调MEMS带阻滤波器,从下到上依次包括：SiO-2基板、包含四个独立电极模块的底部电极、包含四个平板的Si-3N-4双端固支平板、包含四个独立电极模块的顶部电极、Si-3N-4绝缘层、加热电阻、VO-2层；顶部电极与底部电极相对应；加热电阻位于Si-3N-4绝缘层上方且其电阻最大区域位于Si-3N-4双端固支平板的两端区域；加热电阻采用Pt制作以增加其耐高温特性,同时加热电阻由不同宽度的Pt金属带构成以保证Si-3N-4双端固支平板上下平板区域的电阻值最大。
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