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摘要
利用气/液界面自组装法和溶液浸渍转移法制备了单层和双层氧化铟多孔有序气敏薄膜，并对其进行了气敏特性测试，同时利用多物理场耦合进行气敏特性仿真研究.结果表明，制备的气敏薄膜具有规则的孔道结构，孔壁呈现为具有大比表面积的片状结构.基于该气敏材料的气体传感器对丁酮表现出优良的气敏特性，单层In2O3多孔有序气体传感器在最佳工作温度350℃的条件下对质量分数为100×10-6的丁酮的灵敏度为15.37,响应时间仅为4.3 s;双层In2O3多孔有序气体传感器在最佳工作温度375℃的条件下对质量分数为100×10-6的丁酮的灵敏度为20.45,响应时间为22.7 s.仿真结果与气敏特性测试结果吻合较好.
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