摘要

光频扫描非线性会影响光频扫描干涉(FSI)信号的相位提取精度,进而降低扫频干涉测距精度。针对这一问题,本文提出了一种基于互补集合经验模态分解结合希尔伯特变换(CEEMD-HT)算法的干涉信号相位提取方法。在CEEMDHT算法进行理论推导和仿真分析的基础上,通过仿真验证了该算法对非平稳扫频干涉信号相位求解的有效性。进一步采用FSI实验系统中的真实输出光频率作为仿真条件进行了仿真实验,仿真结果表明CEEMD-HT算法对干涉信号相位的求解精度以及FSI测距精度都有显著的改善。最后,通过FSI测距系统的测距实验对所提出的干涉信号相位提取方法进行验证。结果表明:在2 m自由空间测量范围内,基于CEEMD-HT算法的重复测距精度为2.79μm,相较于EMDHT和直接测量法分别提高了5.19倍和8.28倍。