高压氢环境专用薄膜应变片的设计制备及性能测试

作者：张雯丽; 张万亮; 李雨杭; 周成双; 张凯宇; 郑津洋; **

来源：传感技术学报, 2021, 34(10): 1285-1290.

• 高压氢环境传感
• 薄膜应变片
• 磁控溅射
• 零点漂移
• 蠕变

为解决普通箔式电阻应变片在高压氢环境中存在应变片脱落、零点漂移和蠕变等问题,设计了一种用于高压氢环境中的专用薄膜应变片,具体制备方式为:利用磁控溅射技术,依次在316L不锈钢基底上镀Cr膜(过渡缓冲层)、AlN膜(绝缘部分)、FeCrAl合金膜(功能层,使用掩模板镀膜为栅丝形状)。应变片的测试结果表明:与常规的粘贴型应变片相比,该薄膜应变片消除了在高压氢环境下应变片的零点漂移和蠕变。

• 单位
  浙江大学; 浙江工业大学