亚分辨率辅助图形在0.11μm工艺上的应用

作者：张剑; 王谨恒; 王浩; 陈洁; 朱斌; 曹楠; 杨济硕

来源：中国集成电路, 2022, 31(03): 72-79.

• SRAF
• 工艺窗口
• DOF
• 0.11μm工艺平台

亚分辨率辅助图形（Sub Resolution Assist Features,SRAF）作为一种常用的分辨率增强技术（Resolution Enhancement Technique,RET），一般被应用于90nm及以下工艺节点。本文通过对SRAF规则（rule）的选择及验证，实现了0.11μm工艺在KrF光刻机上的量产。