摘要

改变激光脉宽,在硼铝硅酸盐玻璃内直写光波导,研究了脉冲宽度对光波导截面形貌、模场大小及定向耦合器透射比的影响。实验中,采用脉宽为239 fs单模/多模临界功率的激光制备光波导,其截面大小由5.4μm×4.2μm(239 fs)变为5.1μm×2.4μm(700 fs);模场大小由6.2μm×6μm(239 fs)变为5.8μm×4.8μm(700 fs)且传输模式均为单模,模场形状逐渐从圆形变成椭圆形;定向耦合器的透射比在水平偏振下由97.8%(239 fs)变化为70.2%(700 fs),在垂直偏振下由99.2%(239 fs)变化为79.7%(700 fs)。实验发现脉宽在600 fs以上的激光不利于制备性能稳定的玻璃波导。

  • 单位
    吉林大学; 集成光电子学国家重点实验室