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摘要
利用雪崩三极管（BJT）的Marx发生器可实现高频、纳秒级脉冲前沿的重频放电，有利于高浓度低温等离子体的产生。针对直流电源充电效率低、充电速度慢且BJT在高重频下功耗过大致使器件过热损坏的问题，提出了一种新颖的基于串联谐振充电的Marx发生器，使用Pspice仿真软件验证了电路的可行性，并分析电路参数对电容充电时间的影响。确定电路参数后，搭建实验电路。通过2路脉冲源共同承担总功率，提高放电频率的同时降低开关损耗。实验结果表明，脉冲源在50Ω的负载上得到了放电电压为850 V、放电频率为50 kHz的负脉冲。
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