PSD空间定位的非线性误差补偿模型及归一化

作者：**; 董再励; 孙茂相; 刘峰

来源：沈阳工业大学学报, 2005, (05): 72-76.

• 位置敏感器件
• 定位
• 误差
• 非线性
• 补偿算法 PSD
• location
• error
• non-linearity
• compensation algorithm

PSD是一种高分辨率、实时性好的光电位置敏感器件,因而具有广泛应用的前景.但在光照度变化条件下,输出信号存在非线性飘移,因而影响了作为位置检测传感器的检测精度,尤其在3D测量时适用性受到了限制.针对这个问题,提出了一种PSD位置传感器的非线性误差补偿方法.该方法针对目标的空间距离变化所产生的PSD输出非线性飘移,采用归一化模型进行误差修正,很大程度上改进了PSD的输出一致性,使基于PSD的3D测量系统性能得以提高.

• 单位
  沈阳工业大学; 中国科学院沈阳自动化研究所; 机器人学国家重点实验室