7A04铝合金表面制备Cr/CrN复合膜的研究

作者：杨利; 张桐; 陈东旭^*; 王亚男; 周艳文; 宋宏宇

来源：辽宁科技大学学报, 2019, 42(03): 161-185.

DOI：10.13988/j.ustl.2019.03.001

• 等离子体增强磁控溅射
• Cr/CrN复合膜
• 组织形貌
• 结合力
• 硬度

利用等离子体增强非平衡磁控溅射技术,在7A04铝合金表面制备Cr/CrN的复合硬质薄膜。研究Ar、N2通量比(即FAr/FN2)和腔体压强对薄膜形貌、物相组成、膜-基结合力及硬度的影响。结果表明:利用磁控溅射技术可以在7A04铝合金表面制备出组织致密均匀且与基体结合良好的Cr/CrN复合薄膜。随FAr/FN2增大,组织生长越来越致密,晶粒形状由柱状晶逐渐向等轴晶转变,膜与基体间的结合力逐渐增大,硬度开始增加然后减小。随着腔体压强的增加,组织生长逐渐疏松,晶粒尺寸逐渐增大,对膜与基体间结合力的影响不大。

• 单位
  辽宁科技大学; 鞍钢股份有限公司