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摘要
文章在分析风速传感器的结构和机理的基础上,进行了微型风速传感器的设计、结构研究、制作、测试,并对实验结果进行了分析。传感器的芯片是基于托马斯流速计原理,采用硅微机械加工技术制成的。将敏感元件制成微悬桥结构,加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,从而实现低风速风场测量。文章重点研究了微型风速传感器的基本结构、恒定温差控制电路和非线性补偿技术。通过流速与流速之间互换,实现风场测量。
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单位中国电子科技集团公司
