非致冷热释电红外探测器由于具有光谱响应宽、无需致冷等显著优点,近年来成为红外成像领域的研究热点,其结构中最关键的部分是敏感元。研究敏感元材料的制备、结构和性能,采用半导体光刻工艺和化学腐蚀的方法成功地对PZT铁电薄膜进行刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化。
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