熔石英光学元件激光阈值提升仿真与工艺研究

作者：田野; 彭小强; 石峰; 胡皓

来源：航空精密制造技术, 2013, 49(05): 1-4.

• 激光损伤阈值
• 熔石英
• 时域有限差分算法
• 磁流变抛光

为实现熔石英光学元件的高激光损伤阈值加工,研究了磁流变抛光 HF酸洗工艺提升阈值的过程。通过磁流变抛光 HF酸洗加工实验、测量表面缺陷形貌演变和有限时域差分算法(FDTD)仿真,认为该工艺改善破碎型缺陷,减弱光场调制作用,实现阈值的提升。

• 单位
  国防科学技术大学; 自动化学院