一种基于激光调制的高精度位移测量方法

作者：翟玉生; 蒋留杰; 王新杰; 张志峰; 刘佳明

来源：应用光学, 2018, 39(02): 230-234.

• 位移测量
• 激光准直技术
• 激光调制
• 滤波

激光准直技术在位移测量及相关应用中具有重要作用,其核心器件是位置敏感探测器,环境杂散光、电源波动、光电信号处理电路噪声等是影响测量精度的主要因素。针对以上问题,提出一种基于激光调制的高精度位移测量方法。将激光器由直流驱动的连续输出模式改为交流驱动的调制模式输出,优化设计光电探测器微弱光电信号的调理与采集系统,通过编写Labview软件对信号进行频谱分析、带通滤波、均值处理等,对激光连续输出和激光调制输出2种情况分别进行了实验测试与分析,并对比了位移测量的稳定性。实验结果表明:其测量值波动范围从7μm减少到了2.6μm,验证了基于激光调制方法的有效性,可以通过滤波更加有效地消除噪声,测量精度提高至3μm以内。

• 单位
  机电工程学院; 郑州轻工业学院; 电子工程学院