采用脉冲偏压电弧离子镀技术在不锈钢基片上制备氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜。通过改变靶材成分均匀性和致密性,分析其对起弧性能、镀膜工艺稳定性的影响;使用金相显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD),对合金靶材及制备的YSZ涂层进行全面分析。结果表明,通过包覆热轧及退火热处理的合金靶材起弧性能好,镀膜工艺稳定,沉积的薄膜均匀、致密,组成为氧化钇和非晶氧化锆。
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
