分析了数字光刻系统的控制需求，设计了一套适用于基于DMD(Digital Micromirror Device，数字微镜器件)的数字光刻系统的软硬件控制方案。该控制方案分为上位机和下位机2个部分。上位机为PC机，提供人机交互界面；下位机为树莓派，负责控制光刻系统中的DMD、光源、电控位移台等硬件。上位机和下位机使用TCP协议通信，并且软件部分统一使用图形用户界面应用程序开发框架Qt来开发，使光刻操作人员可以在上位机上完成对所有器件的控制。
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