超灵敏度真空检漏技术进展

作者：董云宁^*; 闫睿; 梁进智; 魏萌萌; 余荣; 崔健; 崔玉妹; 佟亚珍; 王欢; 王汐月; 陈俊儒; 杨传森; 齐京; 卢耀文

来源：真空科学与技术学报, 2023, 43(08): 647-653.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202108018

• 超灵敏度真空检漏
• 累积比较法
• 检漏下限
• 检漏精度
• 真空器件

文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10-12 Pa·m3/s的漏率进行检测的技术，它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限等因素的限制，其实际检漏下限一般为10-11 Pa·m3/s量级，采用软件修正后显示的检漏下限可达10-12 Pa·m3/s量级。为了解决对微小漏率的超高灵敏度检测，国际上自上世纪60年代开始相关技术研究，主要围绕检漏下限的延伸和检漏精度的提高两方面开展工作。国内突破了多项技术难题，最新研制出下限为5×10-16 Pa·m3/s的超灵敏度真空检漏仪，并将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内。

• 单位
  清华大学; 北京东方计量测试研究所