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摘要
介绍了一种准分子激光脉冲能量稳定系统。它由能量检测、开关电源和控制器组成。其组成部分均良好屏蔽,组件之间由光纤传递信息,通过均值算法进行脉冲-脉冲的放电电压调节,在闸流管放电的强电磁干扰条件下实现了可靠的闭环控制。该系统实验于一重复频率5 Hz,采用火花预电离的KrF激光器。在气体状态好的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由4.71%降低至3.01%;在气体状态较差、放电电压较低的情况下,将脉冲能量波动相对标准差由7.18%降低至3.62%,有效地提高了脉冲能量的稳定性。
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单位中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学院，安徽光学精密机械研究所
