摘要

目的 探索具备低摩擦系数和高硬度、高弹性模量和高耐磨性的TiAlCN涂层。方法 采用多弧离子镀技术在F690钢表面沉积具有不同碳含量的TiAlCN涂层。通过扫描电镜(SEM),激光共聚焦显微镜,拉曼光谱仪,透射电子显微镜,X射线衍射仪(XRD),X射线光电子能谱仪(XPS),纳米压痕仪,往复式摩擦磨损仪和台阶仪对涂层的结构,硬度,弹性模量和摩擦磨损性能及磨痕形貌分析。结果 碳含量对TiAlCN涂层的结构,硬度和摩擦学性能有比较明显的影响。涂层表面粗糙度会随着涂层中碳含量的增加而逐渐增大。此外,涂层的组成主要为fcc-TiN,fcc-TiC和hcp-AlN。并且随着涂层中碳含量增加,涂层的晶粒取向由(111)变化为(200),同时涂层中的非晶含量也逐渐增加,涂层的纳米硬度及弹性模量也随之下降。碳含量为15.57wt.%的TiAlC80N320涂层具有最高36.21GPa的硬度和430.15GPa的弹性模量。在干摩擦条件下,TiAlC80N320涂层具有最低的磨损率,为2.85×10-6mm3/(Nm)。而TiAlC160N320涂层具有最低的摩擦系数,但是具有最高4.31×10-6mm3/(Nm)的磨损率。结论 涂层中碳含量增加会导致涂层中非晶含量增加,涂层的硬度, 弹性模量和耐磨性会随之降低,涂层的摩擦系数降低。