本文利用迈克尔逊干涉装置,以平面波作为参考光束,物体表面反射光作为物光束,理论构建了包含物体面形信息的二维干涉强度分布模型。并以物体为任意曲面时的干涉强度图为基础,采用菲涅尔变换的方法对物体的三维形貌进行构建。该方法可以实时地给出三维物体表面形貌的高精度(波长量级)测量,在物体面形重构测量方面具有潜在的应用价值。
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