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摘要
本发明公开了一种基于集成微腔的光谱探测芯片及重构方法,本发明的光谱探测芯片是在普通阵列探测器芯片上,通过纳米压印技术和镀膜技术制作多通道集成分光结构,使得原探测器芯片上不同像元对入射光的响应不同,再利用光谱重构的方法还原出样品光谱。本发明的光谱探测芯片将分光和探测集于一体,使探测器本身就具备了光谱分辨能力,实现芯片级光谱仪器,具有体积小、成本低、分辨率高、制作方便等优点,在光谱分析领域具有重要的应用价值。
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本发明公开了一种基于集成微腔的光谱探测芯片及重构方法,本发明的光谱探测芯片是在普通阵列探测器芯片上,通过纳米压印技术和镀膜技术制作多通道集成分光结构,使得原探测器芯片上不同像元对入射光的响应不同,再利用光谱重构的方法还原出样品光谱。本发明的光谱探测芯片将分光和探测集于一体,使探测器本身就具备了光谱分辨能力,实现芯片级光谱仪器,具有体积小、成本低、分辨率高、制作方便等优点,在光谱分析领域具有重要的应用价值。
