类球状微米金刚石聚晶的场发射

作者：高金海; 姚宁; 张兵临; 王英俭

来源：发光学报, 2008, (02): 393-397.

• 微波等离子体化学气相沉积
• 场致电子发射
• 类球状微米金刚石聚晶 diamond microcrystalline-aggregate
• field emission
• chemical vapor deposition

在覆盖金属钛层的陶瓷上,采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜。利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射,分析了薄膜的结构和表面形貌。测试了类球状微米金刚石聚晶膜的场致电子发射特性。开启电场仅为0.55V/μm,在2.18V/μm的电场下,其场发射电流密度高达11mA/cm2。仔细分析了膜的发射过程,发现类球状微米金刚石聚晶的结构对发射有很大影响,并对其发射机理进行了研究。

• 单位
  中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 郑州大学