TiO_2薄膜制备及其氧敏特性

作者：戴振清; 孙以材; 潘**; 孟凡斌; 李国玉

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2005, (02): 324-328.

• 磁控溅射
• TiO2薄膜
• 氧敏特性
• 激活能 DC magnetron sputtering
• thin films of titanium oxide
• oxygen-sensing properties
• activation energy

采用直流磁控溅射法制备TiO2 薄膜 ,在不同温度下对薄膜进行退火 ,研究了薄膜晶体结构随退火温度的转化情况 .对TiO2 薄膜氧敏器件特性进行了测试 ,结果表明 ,在 4 0 0℃下灵敏度随氧分压增加最快 ,并且在 4 0 0℃具有最高的灵敏度 .得到的激活能为 0 4 1eV ,并对TiO2 薄膜氧敏器件的氧敏可逆性进行了讨论 .

• 单位
  河北工业大学; 河北科技师范学院