针对航空航天、机电、石油等领域的高g值加速度监测需求，设计了一种分布式质量块结构的压阻式加速度传感器。运用敏感性分析和响应面方法对敏感结构模型优化，同时提升结构的固有频率和灵敏度；研究所构建模型在不同方向加速度作用下的应力分布特点，设计抗交叉干扰的传感器信号检测电路；分析结构的加工流程及封装工艺，有利于下一步制造应用。仿真结果表明：该传感器的量程为100 000g,灵敏度为2.18μV/g,一阶固有频率为157.82 kHz,理论上消除了横向交叉干扰，有效提升了传感器的性能。
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