<正>微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)是伴随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术发展起来的,是指尺寸在几毫米乃至更小尺寸的高科技装置,其内部结构在微米甚至纳米量级,可以成为一个独立的智能系统。MEMS的发展目标在于:通过微型化、集成化探索新原理、新功能的元件和系统,开辟一个新的技术领域和产业。微机电技术是继微电子技术后又一个对国民
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