一种薄膜电极及其液相自攀爬制备方法与应用

作者：高俊宁

来源：2019-10-31, 中国, CN201911056964.7.

本发明公开了一种薄膜电极及其液相自攀爬制备方法与应用,所述制备方法包括以下步骤：(1)制备超亲水表面与超疏水层；(2)制备亲/疏水阵列图形；(3)制备薄膜电极。将纳米导电颗粒分散在不互溶的水油界面上,使得其在表面张力的作用下,沿着所述带有亲/疏水阵列图形的衬底的亲水性区域爬升并均匀吸附成膜,生成图形电极。本发明所提供的图形电极制备工艺流程简单高效,避免了对光刻机及其附属设备,以及传统高能耗薄膜电极沉积设备的依赖,极大地降低了器件制备成本,尤其适用于多功能半导体和微纳传感器件的制作。

• 单位
  华南理工大学