基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法

作者：魏桂爽; 张效栋; 房丰洲; 胡小唐

来源：光学技术, 2010, (06): 829-833.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2010.06.007

• 超精密加工
• 自由曲面
• 原位测量
• LVDT ultra-precision machining
• free-form
• in-situ measurement
• LVDT

原位测量是提高光学自由曲面面形精度的重要手段,对于提高加工效率、实现加工过程自动化具有重要意义。由于面形的复杂性,光学自由曲面原位测量一直是超精密测量领域的难题。提出了一种基于超精密机床的光学自由曲面原位测量方法,测量系统由LVDT气浮式传感器、红宝石探针和数据采集部件组成,采用螺旋线方式进行加工及测量路径的设计,通过运动控制接口实现机床坐标和测量数据的实时同步采集,快速精确地获取测量数据。实验结果表明,所加工的双正弦自由曲面的面形误差在±0.5μm范围内。

• 单位
  天津大学; 天津微纳制造工程技术中心