基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统

作者：李新弘; 章海军; 张冬仙

来源：光学学报, 2008, (07): 1279-1282.

• 白光干涉
• 定量相位成像
• 迈克耳孙干涉
• 柯勒照明
• 自稳定 white-light interference
• quantitative phase imaging
• Michelson interferometer
• Kohler illumination
• active stabilization

提出和建立了基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统。该系统以柯勒照明的白光迈克耳孙干涉计为基础,使用自稳定锁相电路以减少相位噪音,引入相移装置获得定量的相位图像。实验分别以平面镜、标准测试图和聚苯乙烯小球为样品,获得了清晰的定量相位图像,实现了对样品的实时观测。该装置采用卤素灯照明,达到轴向分辨力5 nm,系统中的柯勒照明结构使其具有高空间相干性。实验结果表明,该装置能有效避免系统中其他光学表面(如系统中的透镜表面)干扰信号的影响。