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摘要
毫米波功率模块是基于微波功率模块发展而来的毫米波功率放大器，它兼有小型化毫米波行波管和固态放大器的优点。相比于传统的固态放大器和行波放大器，毫米波功率模块在尺寸、重量及效率等方面都具有较大的优势，因此，在军事及民用等领域具有重要的价值。 目前，微波功率模块用的行波管大多是螺旋线行波管，它的宽频带、工作电压低，而且效率高。但是当工作频段上升到V波段甚至更高时，螺旋线行波管的慢波结构尺寸将变得非常小，以至于传统的加工手段已不能满足其在精度上的要求。利用现代微细加工技术制造小尺寸螺旋线是解决这一问题的出路，然而现代微细加工技术主要适用于二维结构的加工。因此，作为一个三维慢波结构，螺旋线的加工...
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