过渡金属氮氧化物制备方法的研究进展

作者：汪广进; 余意; 程凤; 梁聪; 徐甜; 潘牧

来源：材料导报, 2012, (09): 27-31.

• 过渡金属氮氧化物
• 溅射法
• 化学气相沉积法
• 化学合成法 transition metal nitrogen oxides
• sputtering
• chemical vapor deposition
• chemical synthesis method

综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数。

• 单位
  材料复合新技术国家重点实验室; 武汉理工大学