摘要

研究移动MES系统在半导体制造中的应用,目的是通过移动MES系统与半导体制造实践结合,加快半导体制造业信息化步伐。文章阐述了移动MES系统介绍、半导体制造的特点及业务流程总结,科学制定半导体制造环节移动MES系统应用措施。研究结果表明,移动MES系统凭借多功能优势在半导体制造环节显现,能够提高半导体制造有效性,为移动MES系统与半导体制造实践结合提供理论指导。