摘要
以高温环境压力传感器应用需求为背景,提出了一种基于氧化锆陶瓷的光纤法布里-珀罗(F-P)腔传感器,它以氧化锆套筒、LC陶瓷插芯和标准单模光纤为传感器组件,利用粘结胶对3个组件固定封装,制备膜片式空气隙F-P腔压力传感器。在压力装置中对封装后的传感器进行0. 5~4. 0 MPa的压力测试,追踪1543. 67 nm反射光谱波谷处波长移动,分别绘制出升压和降压过程中的光谱响应曲线,通过线性拟合后,传感器灵敏度可达9. 5 nm/MPa,具有较好的线性度。
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单位上海大学; 国网上海市电力公司