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摘要
磁悬浮技术应用于超洁净传送，可有效减少粉尘污染。可变磁路式永磁悬浮平台具有低功耗、抗吸附的特性，可避免电磁悬浮传送平台温升大和混合磁悬浮平台安全性差的弊端。为解决永磁悬浮平台起浮过程易发散的问题，本文提出并验证分散控制、集中控制和积分分离法三种起浮控制方法。首先，分析可变磁路式永磁悬浮平台的磁力控制原理，建立系统动力学模型，并采用分散控制实现悬浮平台起浮。针对起浮后平台倾斜的问题，提出了三自由度集中控制方法，其中平台的垂向控制为PD，侧倾与俯仰方向为PID。最后，应用积分分离法进行分段控制，以实现垂向的精确定位。结果表明：集中控制方法实现了平台倾斜角的自纠偏，可有效解决分散控制下各磁极磁力特性差异引起的平台倾斜问题，调节时间为0.5s。垂向采用积分分离方法后，平台垂向的稳态误差由0.23mm可减小为0，调节时间为3s。
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