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摘要
针对目前陶瓷材料功能性结构的高质量成型需求,探究了纳秒短脉冲紫外激光在Al2O3陶瓷基板上微铣削盲孔的激光加工工艺。分别采用不同焦距的场镜来进行铣削实验,研究了激光能量密度、振镜扫描速度、重复扫描次数等工艺参数对盲孔成型的锥度和底部粗糙度的影响规律。实验结果表明,在上述加工参数中,场镜的焦距对盲孔锥角的影响最为显著,其他参数则起到优化加工质量的效果。因此合理地选择场镜焦距,能够有效地改善盲孔的锥角。在场镜焦距f=160 mm,激光脉冲能量密度为25.80 J/cm2,扫描速度1000 mm/s,重复扫描次数为400次的条件下,能够获得较好的加工质量,盲孔深度为0.83 mm、锥角为5.4°,其底部粗糙度为2.48μm。
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