摘要

针对先进陶瓷材料高效、精密加工,提出了一种基于流体自激的新型磨料射流加工方法——自激振荡磨料射流加工(Self-excited Oscillation Abrasive Water Jet Machining, SEO-AWJM)。论文采用了ANSYS Fluent的大涡模拟模型进行了流体仿真,仿真结果表明:当入口流速vn=135 m/s,腔长Lc=4 mm时,下游喷嘴出口脉冲率最大达到28.47%。射流束的脉冲特性使得工件表面停滞层周期性变化,从而获得更高的峰值壁面剪切力Pfm,且Pfm在工件表面往复移动。之后进行自激振荡射流加工实验,调节腔室长度获得最佳流体自激效果并对氮化硅基片进行加工,实验结果表明:定点加工10分钟,使用磨料水射流加工去除最大深度为7.5 μm,使用SEO-AWJM去除最大深度为9.4 μm。初始表面粗糙度Ra为108.9 nm,磨料水射流加工6次后,Ra达到稳定为47.9 nm,SEO-AWJM加工4次后,Ra达到稳定为51.3 nm。