自催化方式制备ZnO纳米线及光致发光特性

作者：唐斌; 邓宏; 税正伟; 张强; 谌贵辉

来源：半导体技术, 2010, (03): 213-216.

• 氧化锌纳米线
• 化学气相沉积
• 光致发光
• 激子 ZnO nanowires
• chemical vapor deposition(CVD)
• photoluminescence(PL)
• exciton

采用化学气相沉积法,不用催化剂,在Si(111)基片上制备了ZnO纳米线。扫描电子显微镜(SEM)表征发现ZnO纳米线的直径在100nm左右。X射线衍射(XRD)图谱上只存在ZnO的(002)衍射峰。室温下光致发光谱(PL)中出现了389nm和357nm的紫外峰以及五个蓝光峰(450,468,474,481和491nm)。389nm峰为自由激子复合发射357nm峰是在LO声子的参与下,自由载流子碰撞形成自由激子过程的发光行为;468nm峰系电子从氧空位形成的浅施主能级向价带跃迁发光;450nm峰系电子从导带向锌空位形成的浅受主能级跃迁发光;474,481和491nm峰是声子伴线。

• 单位
  西南石油大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学