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摘要
本发明涉及一种激光干涉测量信号处理装置,包括四倍程偏振光单元,所述四倍程偏振光单元的输出端与光电信号转换单元的输入端相连,光电信号转换单元的输出端与信号前置放大调理单元的输入端相连,信号前置放大调理单元的输出端与信号差分运算单元的输入端相连,信号差分运算单元的输出端与正交信号补偿单元的输入端相连,正交信号补偿单元的输出端与正交信号差值细分计数单元的输入端相连。本发明还公开了一种激光干涉测量信号处理装置的信号细分方法。本发明使测量系统的分辨率提高了800倍,从而满足了激光干涉测量系统的高精度要求,提高了激光干涉位移测量系统的动态能力,系统动态频率测量响应由0.1秒提升为0.04秒。
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